[发明专利]投影光学系统

摘要

本发明提供了一种投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内，其特征在于，包括沿着光轴方向从物平面到像平面之间依次设有第一透镜、第二透镜、第三透镜、孔径光阑、第四透镜、第五透镜和第六透镜，其中，由第一透镜、第二透镜和第三透镜组成的物侧组合镜组的后焦点位于孔径光阑的中心处，由第四透镜、第五透镜、第六透镜组成的像侧组合镜组的前焦点位于孔径光阑的中心处，第一透镜、第三透镜、第四透镜和第六透镜都具有正光焦度，第二透镜和第五透镜都具有负光焦度，第一透镜和第六透镜都为双凸透镜，第二透镜和第三透镜都为凹面朝向像平面的弯月形透镜，第四透镜和第五透镜都为凸面朝向像平面的弯月透镜。

主权项

一种投影光学系统，将物平面内的图形成像到像平面内，其特征在于，包括：沿着光轴方向从所述物平面到所述像平面之间依次设有第一透镜、第二透镜、第三透镜、孔径光阑、第四透镜、第五透镜和第六透镜，其中，由所述第一透镜、所述第二透镜和所述第三透镜组成的物侧组合镜组的后焦点位于所述孔径光阑的中心处，由所述第四透镜、所述第五透镜和所述第六透镜组成的像侧组合镜组的前焦点位于所述孔径光阑的中心处，所述第一透镜、所述第三透镜、所述第四透镜和所述第六透镜都具有正光焦度，所述第二透镜和所述第五透镜都具有负光焦度，所述第一透镜和所述第六透镜都为双凸透镜，所述第二透镜和所述第三透镜都为凹面朝向所述像平面的弯月形透镜，所述第四透镜和所述第五透镜都为凸面朝向所述像平面的弯月形透镜,所述第一透镜的中心厚度为4.9377mm，前表面的球面半径为65.005mm、半孔径为18.9279mm且后表面的球面半径为1454.1958mm、半孔径为18.7209mm，所述第二透镜的中心厚度为3mm，前表面的球面半径为60.6545mm、半孔径为18.1802mm，后表面的球面半径为30.6678mm、半孔径为16.9399mm，所述第三透镜的中心厚度为12mm，前表面的球面半径为32.9091mm、半孔径为17.2132mm，且后表面的球面半径为273.2575mm、半孔径为15.914mm，所述孔径光阑的半孔径为2.2038mm，所述第四透镜的中心厚度为12mm，前表面的球面半径为12.6659mm、半孔径为3.0437mm，且后表面的球面半径为11.7364mm、半孔径为4.8421mm，所述第五透镜的中心厚度为12mm，前表面的球面半径为9.2465mm、半孔径为4.7323mm，且后表面的球面半径为26.1718mm、半孔径为7.4145mm，所述第六透镜的中心厚度为3.7144mm，前表面的球面半径为52.6348mm、半孔径为7.7077mm，且后表面的球面半径为27.2949mm、半孔径为7.829mm。