[发明专利]一种压电式六维力传感器

摘要

本发明涉及一种基于Stewart结构设计的压电式六维力传感器。本发明包括传感器上平台、下平台、六只上杆球铰、六只连接杆上杆、六组压电式一维传感器、六只连接杆下杆、六只下杆球铰，上下平台通过连接杆、上下球铰、压电式一维传感器组成的传感器分支连接在一起，六组一维压电石英晶组分别通过六只均布螺钉固定在上下连杆之间组成的凹槽内，每组石英晶组由四片xy型压电石英晶片组成，石英晶组由石英晶片和电极片通过导电胶粘合在一起的。本发明由于利用了Stewart并联结构和分载原理，实现大量程载荷的测量，每个晶组有四片压电石英晶片组成，具有高灵敏度和高精度，传感器具有很高的测量灵敏度，且测量结果精度高，结构简单，安装使用方便，稳定性好的特点，可应用在大力值载荷的测量方面。

主权项

一种基于Stewart结构的压电式六维力传感器，其特征在于传感器由上平台1、下平台2、六只上杆球铰3、六只连接杆上杆4、六组一维压电石英传感器5、六只连接杆下杆6、六只下杆球铰7组成，下平台2的直径大于平台1的直径，六个支路一维压电石英传感器5按半对称结构均布连接于上下平台1、2之间，每个支路呈相同的仰角，采用球形铰链连接，六只上杆球铰3和六只下杆球铰7中每个球铰由四只固定螺钉固定在上平台1和下平台2，一维压电石英传感器5包括上连杆末端凸台a₁、定位圆柱凸台a₂、下连杆凸台b₁、放置压电石英晶组凹槽b₂、定位凹槽b₃、固定螺钉8和压电石英晶组9；石英晶组9被安置在凹槽b₂内，通过定位圆柱凸台a₂和定位凹槽b₃和六只均布固定螺钉8固定在凹槽b₂内，并施加一定的预紧力。