[发明专利]一种超结功率器件及其制造方法在审
| 申请号： | 201510203203.5 | 申请日： | 2015-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN106158965A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李理;马万里;赵圣哲 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100871 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超结功率器件及其制造方法，所述超结功率器件包括有源区、分压区域、截止环区域和划片道区域，所述分压区域设置于所述有源区的外围，所述截止环区域设置于所述有源区的外围，所述划片道区域设置于所述截止环区域的外围，所述分压区域内形成有多个间距相同的P柱，并且由所述有源区向所述截止环区域的方向上P柱的宽度逐渐减小。本发明提供的超结功率器件，能够减小氧化层表面积累的电场对分压区域的影响，同时提高超结功率器件的表面击穿强度，减少分压区域面积，提高器件性能，降低器件制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种超结功率器件，包括有源区、分压区域、截止环区域和划片道区域，所述分压区域设置于所述有源区的外围，所述截止环区域设置于所述有源区的外围，所述划片道区域设置于所述截止环区域的外围，其特征在于，所述分压区域内形成有多个间距相同的P柱，并且由有源区向所述截止环方向上P柱的宽度逐渐减小。
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