[发明专利]一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法

摘要

本发明公开了一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法，包括如下步骤清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光、显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发一层金属；将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；去除基片将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明还公开了一种将上述太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法。本发明实现太赫兹波段多频点、高灵敏度传感的检测。

主权项

一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，包括如下步骤：（1）在培养板中加入含有5%胎牛血清的DMEM高糖培养基和肿瘤细胞，将所述培养板置于二氧化碳培养箱中培养肿瘤细胞；（2）待肿瘤细胞长满培养板底时，利用酶解法消化肿瘤细胞，得到单细胞悬液并进行细胞计数；（3）将太赫兹传感器放置并浸泡在含有DMEM高糖培养基的培养板底上，设置肿瘤细胞悬液，放置于有所述太赫兹传感器的培养板中培养；（4）待肿瘤细胞完全贴壁后，取出所述太赫兹传感器，使用纯水冲洗传感器表面，去除残留的DMEM高糖培养基；（5）去除所述太赫兹传感器表面的水分，即得到生长有单层肿瘤细胞的太赫兹传感器；所述太赫兹传感器的制造方法包括如下步骤：1）清洗基片；2）在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；3）在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；4）在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；5）对光刻胶进行曝光、显影和烘干；6）在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发一层金属；7）将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；8）去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。