[发明专利]气体循环式激光振荡装置

摘要

本发明提供一种激光振荡装置。其具备具有在一方向上延伸的放电管，对流经放电管内的激光气体进行放电激发而产生激光的放电激发部；具有安装于放电管的延伸方向的端壁外侧的光学部件，使在放电管内产生的激光振荡的光共振部；连接放电管的吸气口和排气口并形成激光气体循环路径的送风配管。在该激光振荡装置中，在放电管的端壁形成连接放电管内侧和光学部件之间的贯穿孔，在贯穿孔上配置阻碍激光气体通过贯穿孔向光学部件流动的阻碍部件。

主权项

一种激光振荡装置(L)，其具备：放电激发部(1)，其具有在一方向上延伸的放电管(10)，对流经上述放电管(10)内的激光气体进行放电激发而产生激光；光共振部(2)，其具有安装于上述放电管(10)的延伸方向的第一端壁(131)和第二端壁(132)的外侧的光学部件(21、22)，使在上述放电管(10)内产生的激光共振；以及送风配管(3)，其连接设于位于上述第一端壁和位于上述第一端壁的相反侧的上述放电管的上述第二端壁之间的上述放电管(10)的部分的吸气口(IP)和排气口(EP)，形成激光气体的循环路径，该激光振荡装置(L)的特征在于，在上述放电管(10)的上述第一端壁(131)和上述第二端壁(132)上形成连接上述放电管(10)内侧与上述光学部件(21、22)之间的贯穿孔(141、142)，向上述循环路径供给激光气体的供给源(37)以及从上述循环路径排出激光气体的排气泵(36)的双方连接于上述送风配管(3)的中途，未连接于上述光学部件(21、22)的前面的空间内，在上述贯穿孔(141、142)上配置阻碍激光气体通过上述贯穿孔(141、142)向上述光学部件(21、22)流动的阻碍部件(4、4)，上述贯穿孔(141、142)、上述光学部件(21、22)以及上述阻碍部件(4、4)分别设置于上述放电管(10)的延伸方向的两侧，上述阻碍部件(4、4)具有中空的筒状体的形态，在上述阻碍部件(4、4)的外周面和上述贯穿孔(141、142)的内周面之间设置朝向上述光学部件(21、22)通过了上述阻碍部件(4、4)的激光气体的一部分流入的空隙(G、G)。