[发明专利]一种石墨舟外叶片修复方法有效
| 申请号： | 201510206712.3 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN104766815B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 杨冬生;杨征;钱小芳 | 申请（专利权）人： | 中建材浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/67;C23C16/458 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙)32266 | 代理人： | 李中华 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨舟外叶片修复方法，包括如下步骤，步骤一取替换下来损坏的石墨舟叶片，切割成若干个修补叶片，每个修补叶片至少包含两个陶瓷杆洞；步骤二选取石墨舟外叶片有损坏的石墨舟，根据石墨舟外叶片破损情况选取合适的步骤一中切割好的修补叶片，将修补叶片固定在石墨舟损坏的石墨舟外叶片处，完成修复。本发明可以将破损的石墨舟叶片进行切割后重复利用，同时使已发生轻微裂纹或裂痕等破损的石墨舟外叶片进行加固处理的同时，不影响其导电性能，提高石墨舟的利用率，大大节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 叶片 修复 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨舟外叶片修复方法，其特征在于：包括步骤一：取替换下来损坏的石墨舟叶片，切割成若干个修补叶片，每个修补叶片至少包含两个陶瓷杆洞；步骤二：选取石墨舟外叶片有损坏的石墨舟，根据石墨舟外叶片破损情况选取合适的步骤一中切割好的修补叶片，将修补叶片固定在石墨舟损坏的石墨舟外叶片处，完成修复；在步骤二中修补时，首先取下临近损坏处的陶瓷杆上石墨螺丝，将修补叶片的沿陶瓷杆洞套在陶瓷杆上，然后用石墨螺丝固定。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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