[发明专利]激光诱导击穿光谱与拉曼光谱联用系统

摘要

本发明公开一种激光诱导击穿光谱与拉曼光谱联用系统，包括激光诱导击穿光谱仪、拉曼光谱仪，光电管，第一激光器、第二激光器，光路模块，上位机控制模块，硬件测控模块，电源模块，样品室。本发明实现了激光诱导击穿光谱技术和拉曼光谱仪的工作时序、自动定位和聚焦样品受激发的位置以及完成对激光诱导击穿光谱信号和拉曼散射光谱信号的自动采集和自动分析处理，可反馈被分析物质的元素成份和分子结构信息。

主权项

一种激光诱导击穿光谱与拉曼光谱联用系统，其特征在于：包括激光诱导击穿光谱仪、拉曼光谱仪，光电管，第一激光器、第二激光器，光路模块，上位机控制模块，硬件测控模块，电源模块，样品室；所述硬件测控模块包括微处理器、接口电路、光电管信号处理电路、激光器触发电路、延时电路电性连接、光谱仪外触发电路；所述接口电路、光电管信号处理电路、延时电路、光谱仪外触发电路与微处理器电性连接，所述上位机控制模块与接口电路电性连接，所述激光器触发电路与延时电路电性连接，所述激光器触发电路与第一激光器、第二激光器电性连接，所述光谱仪外触发电路与激光诱导击穿光谱仪、拉曼光谱仪电性连接，所述光电管信号处理电路与光电管电性连接；所述光路模块与LIBS光谱仪、拉曼光谱仪连接；所述光电管将激光信号转换成电信号，所述电信号经过所述光电管信号处理电路后触发所述延时电路，所述延时电路根据设定的延时时间参数将触发信号经过延时及脉宽处理后作为触发所述激光诱导击穿光谱仪的信号 ；所述光路模块包括第一扩束准直镜、第一二向色镜、第二扩束准直镜、第二二向色镜、第三二向色镜、双合聚焦镜、LIBS探头、拉曼探头；所述第一扩束准直镜、第二扩束准直镜的镜面相互垂直，所述第一二向色镜的两侧镜面分别与第一扩束准直镜、第二扩束准直镜的出射面成45度夹角，第一二向色镜的中心位 于第一扩束准直镜、第二扩束准直镜轴线的交汇处；所述第二二向色镜、第三二向色镜的镜面平行、轴线重合，第二二向色镜、第三二向色镜的镜面与双合聚焦镜的轴线成45度夹角，第二二向色镜、第三二向色镜的中心位于双合聚焦镜的轴线上，第三二向色镜位于第三二向色镜和双合聚焦镜之间，所述第三二向色镜的中心位于第一扩束准直镜的轴线上，第一二向色镜位于第一扩束准直镜、第三二向色镜之间；第二扩束准直镜、双合聚焦镜位于第一扩束准直镜的轴线的同一侧；所述LIBS探头位于双合聚焦镜的侧面，所述拉曼探头与第三二向色镜分居第二二向色镜的两侧，拉曼探头位于双合聚焦镜的轴线上。