[发明专利]一种静电力驱动的微型超声电机

摘要

本发明公开了一种静电力驱动的微型超声电机，包括硅基定子、转子、轴承和弹性预压力装置，所述硅基定子上表面设有一齿状凸起；所述转子的一端套设于轴承内作旋转运动，所述转子与所述硅基定子的齿状凸起相接触；所述弹性预压力装置沿轴向施加预压力于转子，使转子与硅基定子间产生法向压力，所述硅基定子在驱动电压作用下产生超声振动，硅基定子的齿状凸起通过摩擦力驱动转子旋转。本发明满足体积小、结构简单、材料和制备工艺成熟等特点。

主权项

一种静电力驱动的微型超声电机，其特征在于，包括：硅基定子、转子、轴承和弹性预压力装置，所述硅基定子上表面设有一齿状凸起；所述转子的一端套设于轴承内作旋转运动，所述转子与所述硅基定子的齿状凸起相接触；所述弹性预压力装置沿轴向施加预压力于转子，使转子与硅基定子间产生法向压力，所述硅基定子在驱动电压作用下产生超声振动，硅基定子的齿状凸起通过摩擦力驱动转子旋转；所述的硅基定子为一个复合结构体，其基底为低电阻率硅片，基底的上表面刻蚀出一个环形凹槽，基底的上表面和环形凹槽内表面覆盖二氧化硅绝缘层，一个高电阻率硅膜片与基底的上表面键合并封闭凹槽形成真空腔体，所述高电阻率硅膜片上表面设置有第一金属电极和所述的齿状凸起。