[发明专利]一种自动高效拉晶炉在审
申请号: | 201510211463.7 | 申请日: | 2015-04-30 |
公开(公告)号: | CN104831345A | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 陈磊;刘栓红;赵丽萍;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平;王东胜;惠小青;辛世明;田红丽 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备,名称是一种自动高效拉晶炉,它包括框架,在框架下面安装传动装置,传动装置连接有丝杠,在框架中间固定有水平的底托板,框架上面有放置拉晶管的放置板,放置板上有拉晶管的放置孔,在底托板和放置板之间有引导杆,还有加热盘在底托板和放置板之间,加热盘可上下滑动地套接在引导杆上,所述的丝杠穿过底托板连接加热盘,所述的加热盘上面或/和下面还有冷却盘,加热盘和冷却盘之间有隔热材料,所述的冷却盘是导热材料制成的,里面设置有盘旋的冷却腔,还有冷却液连通外部,具有拉晶效果好、便于控制、节省能源的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 高效 拉晶炉 | ||
【主权项】:
一种自动高效拉晶炉,其特征是:它包括框架,在框架下面安装传动装置,传动装置连接有丝杠,在框架中间固定有水平的底托板,框架上面有放置拉晶管的放置板,放置板上有拉晶管的放置孔,在底托板和放置板之间有引导杆,还有加热盘在底托板和放置板之间,加热盘可上下滑动地套接在引导杆上,所述的丝杠穿过底托板连接加热盘。
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