[发明专利]一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构在审
| 申请号： | 201510212078.4 | 申请日： | 2015-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN104894528A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 方仕彩;吴凤丽;姜崴;廉杰 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C16/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃;霍光旭 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，主要包括升降机构连接板、传片腔室盖板、三角形透明块及密封圈。依据机械手左右手之间的间距及传片通道位置，参考机械手上基板位置迹线的位置，在传片腔室盖板上设计有三角形透明块。机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态。上述三角形透明块与腔室盖板之间通过密封圈密封，整个结构为一体式，可通过升降机构连接板后端的气缸进行开关操作。本发明将大透明盖板变换为多个小的透明盖板分布在传片腔室上，每一处都可以观察到机械手臂上基板的有无及状态。可广泛应用于半导体薄膜沉积的应用与制备技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 观察 传片腔 室内 双层 机械 手臂 结构 | ||
【主权项】：
一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，其特征在于：它包括升降机构连接板、传片腔室盖板、三角形透明块及密封圈，依据机械手左右手之间的间距及传片通道位置，参考机械手上基板位置迹线的位置，在传片腔室盖板上设计有三角形透明块，三角形透明块与腔室盖板之间通过密封圈密封，并通过螺钉A连接；所述升降机构连接板通过螺钉B连接到传片腔室盖板上，整个结构为一体式，通过升降机构连接板后端的气缸进行开关操作。
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