[发明专利]电子束的定位装置有效
申请号: | 201510212329.9 | 申请日: | 2015-04-29 |
公开(公告)号: | CN105097392B | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | J.伯克;T.韦丁杰 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | H01J35/02 | 分类号: | H01J35/02;H01J35/24;H01J35/30 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 谢强 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及电子束的定位装置,包括具有较大的电势差的第一直流电压回路和具有较小的电势差的第二直流电压回路,其分别具有第一电势水平和第二电势水平;偏转模块,具有两个输入端和至少一个偏转线圈,偏转线圈连接在偏转模块的两个输入端之间,其中第一直流电压回路的第一电势水平可切换地连接到偏转模块的输入端,由此形成第一切换路径,并且第一直流电压回路的第二电势水平连接到偏转模块的另一个输入端,并且其中第二直流电压回路的第一电势水平可切换地连接到偏转模块的输入端,由此形成第二切换路径,并且第二直流电压回路的第二电势水平连接到偏转模块的另一个输入端。本发明还涉及一种用于对这种定位装置进行脉冲宽度调制控制的方法。 | ||
搜索关键词: | 电子束 定位 装置 | ||
【主权项】:
一种用于电子管的电子束(6)的定位装置(1),包括:具有较大的电势差(U1)的第一直流电压回路(12)和具有较小的电势差(U2)的第二直流电压回路(18),其分别具有第一电势水平(14、20)和第二电势水平(16、22);以及偏转模块(24),其具有两个输入端(49)和至少一个偏转线圈(28),其中,所述至少一个偏转线圈(28)连接在偏转模块(24)的两个输入端(49)之间,其中,第一直流电压回路(12)的第一电势水平(14)可切换地连接到偏转模块(24)的输入端,由此形成第一切换路径(34),并且在此第一直流电压回路(12)的第二电势水平(16)连接到偏转模块(24)的另一个输入端(49),并且其中,第二直流电压回路(18)的第一电势水平(20)可切换地连接到偏转模块(24)的输入端,由此形成能够与第一切换路径(34)分离地切换的第二切换路径(38),并且在此第二直流电压回路(18)的第二电势水平(22)连接到偏转模块(24)的另一个输入端(49),其中,降落在第二直流电压回路(18)上的电压与降落在第一直流电压回路(12)上的电压的比是小于或等于1:4。
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