[发明专利]电容型电气机械变换器有效
| 申请号： | 201510213503.1 | 申请日： | 2010-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN104923467B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 香取笃史;高木诚;真岛正男 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;H01L21/768;H01L23/48 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了电容型电气机械变换器。本发明涉及能够对于每个元件任意地改变振动膜的挠曲量的电气机械变换器。该电气机械变换器包括多个包含至少一个包含第一电极和与第一电极相对且在它们之间夹有间隙的第二电极的单元的元件，以及被配置为对于各元件被设置并且分别向各元件中的第一电极施加直流电压的直流电压施加单元。第一电极和第二电极对于每个元件电气分离。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 电气 机械 变换器 | ||
【主权项】：
一种电气机械变换器，包括：多个元件，每个元件包含多个单元，每个单元包含第一电极和第二电极，第二电极与第一电极相对并且在它们之间夹有间隙；基板，包括多个第一贯通布线和多个第二贯通布线，以及电压施加单元，被配置为对于每个元件分别引起第一电极和第二电极之间的电势差，其中，第一电极对于每个元件电气分离并且在每个元件内电气连接，第二电极对于每个元件电气分离并且在每个元件内电气连接，每个元件中的第一电极电气连接到第一贯通布线中的一个，并且每个元件中的第二电极电气连接到第二贯通布线中的一个。
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