[发明专利]单晶炉

摘要

本发明公开了一种能够实现节能减排同时又能够提高生产效率的单晶炉。该单晶炉，包括炉体，炉体内部设有石墨坩埚，石墨坩埚内设有石英坩埚，石墨坩埚外侧设置有侧部加热器，还包括氩气管，氩气管上设置有流量控制阀。通过在氩气管上设置有流量控制阀，可以随着单晶硅拉制的不断进行，在保证晶棒不被氧化的前提下，通过调节流量控制阀，逐渐减小氩气的供应量，从而节约氩气，同时，氩气的供应量减小还避免了氩气进入单晶炉后再从抽气孔中排除的过程中带走大量的热量，实现节能减排，在石墨坩埚的底部设置有底部加热器，是为了加速多晶硅原料的融化，缩短原料的融化时间，可以大大提高生产效率。适合在单晶生产设备领域推广应用。

主权项

单晶炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)内部设有石墨坩埚(2)，所述石墨坩埚(2)底部通过坩埚轴(3)与炉体(1)底部相固定，所述石墨坩埚(2)内设有石英坩埚(4)，石墨坩埚(2)外侧设置有侧部加热器(5)，所述炉体(1)侧壁上设置有抽气孔(6)，还包括氩气管(7)，所述氩气管(7)穿过炉体(1)伸入到石英坩埚(4)内，其特征在于：所述氩气管(7)上设置有流量控制阀(8)，所述流量控制阀(8)上连接有控制开关(9)，所述控制开关(9)上连接有计时器(10)，所述石墨坩埚(2)的底部设置有底部加热器(11)，所述底部加热器(11)与侧部加热器(5)为一体式结构。