[发明专利]基于纳米测量机的自适应白光扫描干涉测量方法在审
| 申请号： | 201510219727.3 | 申请日： | 2015-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105136019A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 郭彤;马龙;边琰;陈津平;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘国威 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及微结构光学测试技术领域，为实现在不损失精度的前提下尽可能缩短测量时间，提高大间断结构相关信息的测试效率。为此，本发明采取的技术方案是，基于纳米测量机的自适应白光扫描干涉测量方法，包括如下步骤：(1)纳米测量机初始化；(2)按照设置的扫描步长进行精细扫描并存储图像；(3)按照评价函数和离焦阈值判断所采集图像是否处于离焦扫描状态；(4)记录位置并存储图像；(5)当再次处于离焦状态时停止扫描，读取存储的上下表面有效图像；(6)绘制光强曲线图，计算相干峰位置，进行倾斜调整后获取被测结构高度信息。本发明主要应用于微结构光学测试。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 测量 自适应 白光 扫描 干涉 测量方法 | ||
【主权项】：
一种基于纳米测量机的自适应白光扫描干涉测量方法，其特征是，包括如下步骤：(1)纳米测量机初始化，设置台阶上表面包括快速扫描步长、精细扫描步长及离焦阈值的测量参数；(2)手动调节至台阶上表面，按照设置的扫描步长进行精细扫描并存储图像；(3)按照评价函数和离焦阈值判断所采集图像是否处于离焦扫描状态，如果处于离焦状态则记录位置并按照设定的步长进行快速扫描；(4)在扫描接近下表面附近，判断当由离焦转换成聚焦状态时恢复精细扫描，记录位置并存储图像；(5)当再次处于离焦状态时停止扫描，读取存储的上下表面有效图像；(6)绘制光强曲线图，计算相干峰位置，进行倾斜调整后获取被测结构高度信息。
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