[发明专利]温度控制设备及其隔离罩有效

专利信息
申请号: 201510220525.0 申请日: 2015-05-04
公开(公告)号: CN106200712B 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 李岳颖;克里斯塔·赫尔格·雅各布;张盈乔 申请(专利权)人: 旺矽科技股份有限公司
主分类号: G05D23/20 分类号: G05D23/20
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明揭露一种温度控制设备及其隔离罩。温度控制设备包含流体输出装置连接头、隔离罩、干燥腔室与干燥气体源。流体输出装置连接头具有输出喷嘴与第一流体输出管。隔离罩具有罩体与第二流体输出管。罩体定义工作空间,输出喷嘴连通工作空间,第二流体输出管连通工作空间与第一流体输出管,第一流体输出管与第二流体输出管之间具有连结界面。连结界面至少部分位于干燥腔室中。干燥气体源连通干燥腔室,用以提供干燥气体至干燥腔室中。本发明提供的温度控制设备,能把于连结界面泄漏的流体,以干燥气体先稀释后再排出,以避免于连结界面出现结霜或露水的现象。
搜索关键词: 温度 控制 设备 及其 隔离
【主权项】:
1.一种温度控制设备,其特征在于,包含:一流体输出装置连接头,具有一输出喷嘴与一第一流体输出管;一隔离罩,具有一罩体与一第二流体输出管,所述罩体定义一工作空间,所述输出喷嘴连通所述工作空间,所述第二流体输出管连通所述工作空间与所述第一流体输出管,所述第一流体输出管的入口与所述第二流体输出管的出口之间具有一连结界面,所述第一流体输出管接近所述连结界面的一部分与所述第二流体输出管接近所述连结界面的一部分沿一相同方向延伸;一干燥腔室,所述连结界面至少部分位于所述干燥腔室中;以及一干燥气体源,连通所述干燥腔室,用以提供一干燥气体至所述干燥腔室中。
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