[发明专利]电子束加热蒸发源控制器有效
| 申请号： | 201510220859.8 | 申请日： | 2015-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN106191789B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘利;郇庆;竺晓山 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子束加热蒸发源控制器，包括信号设定装置、负反馈控制器、第一信号选择器、数据转换器、电压源和乘法器，信号设定装置用于输出电压设定数字信号和功率设定数字信号，第一信号选择器用于可选择地使得电压设定数字信号或负反馈控制器输出的控制量传输至数据转换器，数据转换器用于将接收的电压设定数字信号或负反馈控制器输出的控制量转换为对应的设定电压，电压源用于根据设定电压输出相对应的输出电压，乘法器用于输出与电压源的输出功率对应的功率数字信号，负反馈控制器用于根据作为其参考输入量的功率设定数字信号和作为其被控制量的功率数字信号输出所述控制量。本发明的电子束加热蒸发源实现了恒功率模式。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 加热 蒸发 控制器 | ||
【主权项】：
1.一种电子束加热蒸发源控制器，其特征在于，所述电子束加热蒸发源控制器包括信号设定装置、负反馈控制器、第一信号选择器、数据转换器、电压源和乘法器，所述信号设定装置用于输出电压设定数字信号和功率设定数字信号，所述第一信号选择器用于可选择地使得所述电压设定数字信号或所述负反馈控制器输出的控制量传输至所述数据转换器，所述数据转换器包括输出计算单元和数模转换器，所述输出计算单元用于将所述第一信号选择器传输的所述电压设定数字信号或所述负反馈控制器输出的控制量转换为对应的电压数字信号，所述数模转换器用于将所述电压数字信号转换为对应的设定电压，所述电压源用于根据所述设定电压输出相对应的输出电压，所述乘法器用于输出与所述电压源的输出功率对应的功率数字信号，所述负反馈控制器用于根据作为其参考输入量的所述功率设定数字信号和作为其被控制量的功率数字信号输出所述控制量。
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