[发明专利]溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法在审
| 申请号： | 201510223481.7 | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN106147616A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 高如山 | 申请（专利权）人： | 天津西美半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市华苑产业区海泰发*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于：该制备方法首先对氧化铝颗粒进行粒径分级，再加入分散剂对氧化铝表面进行包覆改性，接着加入有机溶剂和氧化剂搅拌均匀，再经超声振动使其充分分散，后用pH调节剂将抛光液的pH调到2.5-12.5，该发明制备的抛光液具有良好的悬浮分散性，可应用于无水环境下，铝合金、铜、不锈钢和蓝宝石衬底抛光，具有抛光效率高，表面粗糙度小，对基片表面损伤小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 溶剂 表面 改性 氧化铝 抛光 制备 方法 | ||
【主权项】：
溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于：该制备方法首先对氧化铝颗粒进行粒径分级，再加入分散剂对氧化铝表面进行包覆改性，接着加入有机溶剂和氧化剂搅拌均匀，再经超声振动使其充分接触，后用pH调节剂将抛光液的pH调到2.5‑12.5。
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