[发明专利]用于微机械结构元件的层组件在审
| 申请号： | 201510224045.1 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN104843631A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | A·格罗塞;H·施塔尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于微机械结构元件(200)的层组件(100)，其具有：第一层(10)，其既可用于所述结构元件(200)的电布线也可用作所述结构元件(200)的电极；和耐氧化物蚀刻的第二层(20)，其布置在第一层(10)的下方，其中，该第二层(20)基本上在一个平面内构造。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 结构 元件 组件 | ||
【主权项】：
用于微机械结构元件(200)的层组件(100)，所述层组件具有：‑第一层(10)，所述第一层既能够用于所述结构元件(200)的电布线也能够用作所述结构元件(200)的电极；和‑耐氧化物蚀刻的第二层(20)，所述第二层布置在所述第一层(10)的下方，其中，所述第二层(20)基本上构造在一个平面中。
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