[发明专利]一种功率器件及其制作方法在审
| 申请号： | 201510226995.8 | 申请日： | 2015-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN106206694A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李理;马万里;赵圣哲 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/66 | 分类号： | H01L29/66;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100871 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种功率器件及其制作方法，本发明的功率器件的衬底减薄过程中，对衬底边缘不进行减薄，从而使衬底边缘的厚度较厚，提高了衬底的强度，降低了工艺中的碎片率，消除了对衬底最小厚度的限制，同时本发明的技术方案无需使用支撑片，工艺简单，生产成本低，并且能够满足器件性能要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种功率器件制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1、于衬底的一面上制作功率器件的正面结构，对所述衬底的另一面进行减薄，并且不对所述衬底另一面的边缘进行减薄处理；S2、于所述衬底的另一面的减薄部位制作所述功率器件的背面结构；S3、切除所述衬底的未减薄区域。
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