[发明专利]一种用粉末冶金法制备高性能钽靶材的方法在审
| 申请号： | 201510228169.7 | 申请日： | 2015-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN105177513A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 李军义;孙本双;罗文;扈百直;郑爱国;杨国启;郑金凤;张丽 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/105 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 753000 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体用高纯钽靶材的粉末冶金制备方法，尤其是一种用粉末冶金法制备高性能钽靶材的方法。其特点是，包括如下步骤：(1)将要烧结的钽粉末装入模具中；(2)将模具放入电火花烧结炉中对粉末进行放电等离子烧结；(3)烧结结束后，冷却至不超过160℃后出炉，脱模；(4)对得到的钽靶坯机械加工成所需尺寸即可。采用本发明的方法可以得到粒度均匀、无织构的内部组织，提高靶材性能，本发明方法还具有烧结温度低，可快速烧结出致密钽靶材，靶材内部晶粒均匀细小，无择优取向等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粉末冶金 法制 性能 钽靶材 方法 | ||
【主权项】：
一种用粉末冶金法制备高性能钽靶材的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将要烧结的钽粉末装入模具中；(2)将模具放入电火花烧结炉中对粉末进行放电等离子烧结；(3)烧结结束后，冷却至不超过160℃后出炉，脱模；(4)对得到的钽靶坯机械加工成所需尺寸即可。
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