[发明专利]多规格光刻版清洗治具有效
申请号: | 201510230317.9 | 申请日: | 2015-05-07 |
公开(公告)号: | CN104934352B | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 丁维才;冯靖 | 申请(专利权)人: | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙)34120 | 代理人: | 汪守勇 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种多规格光刻版清洗治具,涉及半导体制造技术领域。本发明所提供的一种多规格光刻版清洗治具,主要包括主支架(4)、侧支架(9)、底部支架(12)、支撑圆柱(14)和底部圆柱(6),其中,所述支撑圆柱(14)与所述的主支架(4)通过螺栓连接;所述侧支架(9)与所述的主支架(4)通过螺栓连接;所述底部支架(12)通过螺栓与所述的主支架(4)连接,所述底部支架定圆柱(6)固定在主支架(4)的下部;本发明能够用于对不同规格光刻版进行清洗,且一次能够清洗多个同一规格的光刻版,从而能够有效提光刻版的高清洗效率,降低设备采购成本。 | ||
搜索关键词: | 规格 光刻 清洗 | ||
【主权项】:
一种多规格光刻版清洗治具,包括主支架(4)、侧支架(9)、底部支架(12)、支撑圆柱(14)和底部支架定圆柱(6),其特征在于:所述支撑圆柱(14)与所述的主支架(4)固定连接;所述侧支架(9)与所述的主支架(4)固定连接;所述底部支架(12)与所述的主支架(4)固定连接,所述底部支架定圆柱(6)固定在主支架(4)的下部;所述的主支架(4)上有开有孔槽(1)、支架取放口(2)、侧支架固定螺丝孔(3)和底板固定螺丝孔(5);所述主支架(4)开设不同距离的侧支架固定螺丝孔(3),且所述的侧支架固定螺丝孔(3)分布在主支架(4)的两侧和底部;所述的侧支架(9)一侧开有用于固定光刻版的侧支架卡槽(7);通过螺栓将所述侧支架卡槽(7)按照光刻版的规格固定在相应的所述侧支架固定螺丝孔(3)上;所述的底部支架(12)开有底部支架通孔(11),将所述支撑圆柱(14)安装在所述底部支架(12)的所述底部支架通孔(11)内,两端分别通过所述底板固定螺丝孔(5)与两个所述主支架(4)固定,底部支架(12)安装在两所述主支架(4)的下方外侧的位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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