[发明专利]多规格光刻版清洗治具有效

专利信息
申请号: 201510230317.9 申请日: 2015-05-07
公开(公告)号: CN104934352B 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 丁维才;冯靖 申请(专利权)人: 合肥彩虹蓝光科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙)34120 代理人: 汪守勇
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供一种多规格光刻版清洗治具,涉及半导体制造技术领域。本发明所提供的一种多规格光刻版清洗治具,主要包括主支架(4)、侧支架(9)、底部支架(12)、支撑圆柱(14)和底部圆柱(6),其中,所述支撑圆柱(14)与所述的主支架(4)通过螺栓连接;所述侧支架(9)与所述的主支架(4)通过螺栓连接;所述底部支架(12)通过螺栓与所述的主支架(4)连接,所述底部支架定圆柱(6)固定在主支架(4)的下部;本发明能够用于对不同规格光刻版进行清洗,且一次能够清洗多个同一规格的光刻版,从而能够有效提光刻版的高清洗效率,降低设备采购成本。
搜索关键词: 规格 光刻 清洗
【主权项】:
一种多规格光刻版清洗治具,包括主支架(4)、侧支架(9)、底部支架(12)、支撑圆柱(14)和底部支架定圆柱(6),其特征在于:所述支撑圆柱(14)与所述的主支架(4)固定连接;所述侧支架(9)与所述的主支架(4)固定连接;所述底部支架(12)与所述的主支架(4)固定连接,所述底部支架定圆柱(6)固定在主支架(4)的下部;所述的主支架(4)上有开有孔槽(1)、支架取放口(2)、侧支架固定螺丝孔(3)和底板固定螺丝孔(5);所述主支架(4)开设不同距离的侧支架固定螺丝孔(3),且所述的侧支架固定螺丝孔(3)分布在主支架(4)的两侧和底部;所述的侧支架(9)一侧开有用于固定光刻版的侧支架卡槽(7);通过螺栓将所述侧支架卡槽(7)按照光刻版的规格固定在相应的所述侧支架固定螺丝孔(3)上;所述的底部支架(12)开有底部支架通孔(11),将所述支撑圆柱(14)安装在所述底部支架(12)的所述底部支架通孔(11)内,两端分别通过所述底板固定螺丝孔(5)与两个所述主支架(4)固定,底部支架(12)安装在两所述主支架(4)的下方外侧的位置。
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