[发明专利]光波导的制备方法及装置在审
| 申请号： | 201510232980.2 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN106199830A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 赵丽;庞拂飞;邓传鲁;贾娜娜;郭丽丽;王廷云;王玉;刘哲 | 申请（专利权）人： | 中兴通讯股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光波导的制备方法及装置，所述光波导的制备方法包括以下步骤：在基板上制备下包层并热固化；当激光器产生制备光波导的激光束后，控制所述激光束对所述下包层进行凹槽刻蚀；获取滴加参数，根据所述滴加参数控制滴加装置滴加芯层胶至所述凹槽中，并热固化所述芯层胶；在所述下包层的具有芯层胶的表面制备上包层并热固化，以制备得到光波导。本发明不受所制备光波导材料的特性限制、所制备的光波导的尺寸大小也不受限制，且制备效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种光波导的制备方法，其特征在于，所述光波导的制备方法包括以下步骤：在基板上制备下包层并热固化；当激光器产生制备光波导的激光束后，控制所述激光束对所述下包层进行凹槽刻蚀；获取滴加参数，根据所述滴加参数控制滴加装置滴加芯层胶至所述凹槽中，并热固化所述芯层胶；在所述下包层的具有芯层胶的表面制备上包层并热固化，以制备得到光波导。
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