[发明专利]一种基于光弹性原理的柔性微探针及其使用方法有效
| 申请号： | 201510233529.2 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN104807569B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 褚金奎;李双亮;张然;闵健;陈永台 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司21212 | 代理人： | 高永德,李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光弹性原理的柔性微探针及其使用方法，本发明所述的基于光弹性原理的柔性微探针为以SU‑8胶为材料的整体结构，包括微探针受力端和微探针基体，所述微探针基体包括基体端部和基体尾部，所述基体端部和微探针受力端设置于基体尾部的同一侧，形成微探针结构，通过测量透过柔性铰链应力测量区与测量光路的偏振光光强改变量，建立起与微探针受力端处所受力的大小的关系，即可实现微力的测量。本发明以SU‑8胶为微探针材料，加工工艺成本低、稳定性强，具有抗化学腐蚀性、良好的力学性能和生物兼容性、光应力系数大等优点。并且本发明为整体结构，无需装配，制作简单，有助于实现生物医学、材料化学等领域微操作技术的实用化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 弹性 原理 柔性 探针 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种基于光弹性原理的柔性微探针，其特征在于，为以SU‑8胶为材料的整体结构，包括微探针受力端和微探针基体，所述微探针基体包括基体端部和基体尾部，所述基体端部和微探针受力端设置于基体尾部的同一侧；所述微探针受力端与基体尾部连接的一端、靠近基体端部的一侧设有弧形缺口，形成柔性铰链应力测量区。
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