[发明专利]一种组合式超精密直线运动工作台

摘要

用于超精密加工、测量领域的组合式超精密直线运动工作台，它涉及一种超精密直线运动装置。本装置为解决现有基于滚珠丝杠工作台直线度差，基于直线电机工作台成本高、控制复杂，基于液体静压丝杠工作台静压丝杠加工难度大、价格昂贵的问题，所述基于滚珠丝杠的滚动导轨安装于液体静压导轨内部且轴线平行设置，旋转伺服电机通过滚珠丝杠带动滚动导轨平台产生直线运动，液体静压耦合元件分别与滚动导轨和液体静压导轨相连并通过液体静压油膜将滚动导轨的直线运动传递到液体静压导轨滑块上，所述液体静压耦合元件的静压支撑面设置于液体静压导轨滑块几何中心位置。本发明的组合式超精密直线运动工作台装置用于需要实现超精密直线运动的加工或测量装备。

主权项

一种组合式超精密直线运动工作台，所述组合式超精密工作台包括基于滚珠丝杠的滚动直线工作台Ⅰ，液体静压工作台Ⅲ，液体静压耦合元件Ⅱ，其特征在于：所述液体静压耦合元件Ⅱ中的导流板(18)与液体静压滑块(22)固连，左侧静压支撑件(17)与右侧静压支撑件(20)均与滚动导轨工作台(23)固连，以实现滚动直线工作台Ⅰ与液体静压工作台Ⅲ的组合。