[发明专利]磁性位移传感器以及位移的检测方法有效
申请号: | 201510236034.5 | 申请日: | 2015-05-11 |
公开(公告)号: | CN105300261B | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 清水哲也;寺田将吾;山本卓;大坪努 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 夏斌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供磁性位移传感器以及位移的检测方法。减小周围温度对磁性位移传感器的影响。磁性位移传感器具备支承体、收纳支承体的壳体、以及沿着磁尺的长度方向将支承体的中央部固定于壳体的固定部。并且,沿着磁尺的长度方向在固定部的两侧多个线圈以相同数量支承于支承体。 | ||
搜索关键词: | 磁性 位移 传感器 以及 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种磁性位移传感器,通过由支承体支承的多个线圈与沿着长度方向以恒定间距设置有周期性地变化的磁标记的磁尺之间的相互作用,对位移进行检测,其特征在于,具备:壳体,收纳所述支承体;以及固定部,沿着所述磁尺的长度方向将支承体的中央部固定于所述壳体,并且,沿着所述磁尺的长度方向,在所述固定部的两侧,所述多个线圈分别以相同数量支承于所述支承体,磁性位移传感器作为所述多个线圈,具备至少各两个sin相输出的线圈和cos相输出的线圈,沿着所述磁尺的长度方向,在所述固定部的两侧,各支承有至少1个sin相输出的线圈、且各支承有至少1个cos相输出的线圈。
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