[发明专利]光路切换装置及集成多个测头的微纳米测量系统有效
| 申请号： | 201510236070.1 | 申请日： | 2015-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN105136024B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 吴俊杰;陈欣;丁国清 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 雷绍宁 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明还公开了一种光路切换装置和一种集成多个测头的微纳米测量系统。所述测量系统包括光源模块、图像采集模块、多个测头模块、一个成像分光镜和所述光路切换装置；光路切换装置包括一个驱动机构、一个具有多个反射面的移动反射镜和多个固定反射镜。通过光路切换装置的驱动机构可以切换光线传输路径，进而切换进行工作的测头模块。本发明涉及的光路切换装置可应用于光学测量领域，方便地切换光路。本发明涉及的测量系统利用所述光路切换装置可以实现多个测头的集成。在多个测头模块中设置至少一个能实现微米级测量的光学显微干涉测头模块和至少一个能实现纳米级测量的原子力显微干涉测头模块，可以实现跨尺度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 切换 装置 集成 多个测头 纳米 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种集成多个测头的微纳米测量系统，包括光源模块(2)、图像采集模块(3)和多个测头模块(41、42)；其特征是，还包括一个成像分光镜(5)和一个光路切换装置(1)，所述光路切换装置(1)包括一个驱动机构(12)、一个移动反射镜(11)和多个固定反射镜，所述移动反射镜(11)上具有多个朝向不同方向的反射面，每个反射面与一个固定反射镜平行相对，所述光源模块(2)发出的光源光线经成像分光镜(5)反射后照射在移动反射镜(11)的一个反射面上，再经固定反射镜反射后进入其中一个测头模块(41、42)，从测头模块(41、42)中返回的成像光线依次经所述固定反射镜、移动反射镜(11)和成像分光镜(5)进入图像采集模块(3)；所述移动反射镜(11)与所述驱动机构(12)相连接，当驱动机构(12)带动移动反射镜(11)移动位置后，可使移动反射镜(11)的另一反射面接收所述光源光线，并经另一固定反射镜反射后进入另一测头模块。
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