[发明专利]基于开口孔共振耦合效应的等离激元全光逻辑器件有效
| 申请号： | 201510236362.5 | 申请日： | 2015-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN104793286B | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 郑婉华;王宇飞;祁帆;马庆艳;王少华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02F3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于开口孔共振耦合效应的等离激元全光逻辑器件，利用三个开口孔共振器在横向和纵向两个维度调整以改变耦合强度来丰富各端口的输出状态，其具有小尺寸、低功耗的特点，属于光电子集成技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 开口 共振 耦合 效应 离激元全光 逻辑 器件 | ||
【主权项】：
一种基于开口孔共振耦合效应的等离激元全光逻辑器件，包括多个开口孔，该多个开口孔沿纵向错位排布构成干涉通道，该多个开口孔的中心不在沿纵向的直线上，可以通过横向和纵向两个维度对多个开口孔之间的耦合距离作出调整，其中，单个开口孔为在尺度小于微米量级的立方体形的贵金属颗粒上刻蚀出的一空气狭槽和空气孔结构，空气狭槽穿过空气孔的中心。
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