[发明专利]一种涂层磨损控制装置及其应用仪器

摘要

本发明公开了一种涂层磨损控制装置及其应用仪器，包括一球磨装置，用于研磨表面带涂层的样片；一交流电机，用于驱动球磨装置的动作；一电机驱动系统，用于控制交流电机的运转；一控制模块，用于触发电机驱动系统的工作；一涡流传感系统，用于检测样片表面的磁场信号并以检测结果作为控制信号反馈给控制模块，以供控制模块输出触发信号给电机驱动系统。本发明涂层磨损控制装置利用涡流探测技术对样片的涂层进行磨损检测，在涂层被磨穿、裸露出基体表面时，检测到磁场的信号突变，即可判定涂层恰好磨穿，以此控制球磨装置停止研磨样片涂层，这样得到的样片可以得到最佳的涂层可测面积，从而在测量涂层厚度时得到精确的结果。

主权项

 一种涂层磨损控制装置，其特征在于：包括一球磨装置（1），用于研磨表面带涂层（20）的样片（2）；一交流电机（3），用于驱动球磨装置（1）的动作；一电机驱动系统（4），用于控制交流电机（3）的运转；一控制模块，用于触发电机驱动系统（4）的工作；一涡流传感系统（6），用于检测样片（2）表面的磁场信号并以检测结果作为控制信号反馈给控制模块，以供控制模块输出触发信号给电机驱动系统（4）。