[发明专利]一种半导体烘箱氮气调节装置

摘要

本发明公开了一种半导体烘箱氮气调节装置，包括箱体、前门、支架、内胆、进气接口、氮气调节阀、进气管、出气接口、出气管、风机、托盘，工作时，直线电机通过丝杠带动阀芯做直线运动，使得氮气通过氮气调节阀进入内胆与箱体之间的空腔内，由于内胆设置有氮气吹入孔，氮气通过氮气吹入孔进入内胆内部，同时风机工作，使得氮气在内胆内部由下而上经过每个半导体后被排出箱体。该装置结构简单，调节直线电机转动角度可以调剂氮气进气量，从而实现氮气进气量调节，均匀分布在内胆内壁左右两侧的氮气吹入孔使得内胆内氮气均匀分布，有效保护半导体，大大提高成品合格率，提高经济效益。

主权项

一种半导体烘箱氮气调节装置，包括箱体、前门、支架，其特征在于还包括内胆、进气接口、氮气调节阀、进气管、出气接口、出气管、引风机、托盘，所述的前门位于箱体前端，所述的前门与箱体铰链相连，所述的支架位于箱体外壁底部，所述的支架与箱体焊接相连，所述的内胆位于箱体内部，所述的内胆与箱体焊接相连，所述的进气接口位于箱体外壁底部中心，所述的进气接口与箱体焊接相连，所述的氮气调节阀位于进气接口下端，所述的氮气调节阀与进气接口螺纹相连，所述的进气管位于氮气调节阀下端，所述的进气管与氮气调节阀螺纹相连，所述的出气接口位于内胆外壁中心处，所述出气接口与内胆焊接相连，所述的出气管位于出气接口上端，所述的出气管与出气接口螺纹相连，所述的引风机位于出气管末端，所述的引风机与出气管螺纹相连，所述的托盘位于内胆内部，所述的托盘与内胆滑动相连。