[发明专利]基于多孔材料的场致发射型电子源及显示器件在审
申请号: | 201510237162.1 | 申请日: | 2015-05-11 |
公开(公告)号: | CN104882344A | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 刘震;李姝敏;裴承全;韦海成;刘纯亮;吴胜利 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01J1/304 | 分类号: | H01J1/304;H01J37/073 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 朱海临 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于多孔材料的场致发射型电子源及显示器件,其中电子源包括后基板,该后基板上依次设置有底电极、绝缘膜、顶电极的MIM型多层膜结构,其特征在于,所述绝缘膜由阻挡层和多孔层构成,该阻挡层靠近底电极的一侧,其厚度不超过20nm,多孔层靠近顶电极一侧,其厚度至少应大于阻挡层厚度的5倍。通过优化阻挡层和多孔层的厚度,以及在多孔材料孔内生长纳米材料的方法,可以在改善电子源寿命,提高发射稳定性的同时,降低器件的阈值电压,提高电子源的发射效率。 | ||
搜索关键词: | 基于 多孔 材料 发射 电子 显示 器件 | ||
【主权项】:
一种基于多孔材料的场致发射型电子源,包括后基板,该后基板上依次设置有底电极、绝缘膜、顶电极的MIM型多层膜结构,其特征在于,所述绝缘膜由阻挡层和多孔层构成,该阻挡层靠近底电极的一侧,其厚度不超过20nm,多孔层靠近顶电极一侧,其厚度至少应大于阻挡层厚度的5倍。
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