[发明专利]一种石墨烯薄膜无损转移方法有效

专利信息
申请号: 201510237214.5 申请日: 2015-05-12
公开(公告)号: CN104860307B 公开(公告)日: 2017-06-09
发明(设计)人: 刘敬权;潘东晓;朱慧慧 申请(专利权)人: 青岛华高能源科技有限公司
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186
代理公司: 青岛高晓专利事务所37104 代理人: 赵映蓉,于正河
地址: 266111 山东省青岛市青岛高新技术产业*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明属于材料科学技术领域,涉及一种环保、高效、便捷的石墨烯薄膜无损转移方法,先将生长有石墨烯薄膜的金属箔平放在载玻片上,将胶带紧贴在石墨烯薄膜上;再将表面贴有胶带的金属箔放入腐蚀液中腐蚀2‑10h,去除金属箔后得到胶带/石墨烯薄膜结构;将胶带/石墨烯薄膜结构捞起后放入装有去离子水的培养皿中重复漂洗3‑5次(每次10‑30min);再将胶带/石墨烯薄膜结构捞起,贴附在用10‑50W的等离子体清洗机进行亲水处理后的目标基底上,并在常温下自然放置3‑6h,得到胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构;最后将胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构表面的胶带缓慢的以平行方向撕掉即实现无损转移;该方法设计新颖,原理科学,过程简单,操作简易,转移效果较好。
搜索关键词: 一种 石墨 薄膜 无损 转移 方法
【主权项】:
一种石墨烯薄膜无损转移方法,其特征在于具体包括以下工艺步骤:(1)将生长有石墨烯薄膜的金属箔平放在载玻片上,将胶带紧贴在生长有石墨烯薄膜的金属箔表面上;(2)将上述表面贴有胶带的金属箔放入腐蚀液中腐蚀2‑10h,去除金属箔后得到胶带/石墨烯薄膜结构;(3)将胶带/石墨烯薄膜结构轻轻捞起后放入装有去离子水的培养皿中漂洗10‑30min,重复此漂洗过程3‑5次;用10‑50W的等离子体清洗机对目标基底表面进行3‑5min的亲水处理,然后轻轻将胶带/石墨烯薄膜结构捞起,贴附于目标基底被处理过的表面后常温下自然放置3‑6h,得到胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构;(4)将胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构表面的胶带缓慢的以平行方向撕掉,得到转移到目标基底上的石墨烯薄膜,实现石墨烯薄膜无损转移。
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