[发明专利]一种石墨烯薄膜无损转移方法有效
申请号: | 201510237214.5 | 申请日: | 2015-05-12 |
公开(公告)号: | CN104860307B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | 刘敬权;潘东晓;朱慧慧 | 申请(专利权)人: | 青岛华高能源科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186 |
代理公司: | 青岛高晓专利事务所37104 | 代理人: | 赵映蓉,于正河 |
地址: | 266111 山东省青岛市青岛高新技术产业*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于材料科学技术领域,涉及一种环保、高效、便捷的石墨烯薄膜无损转移方法,先将生长有石墨烯薄膜的金属箔平放在载玻片上,将胶带紧贴在石墨烯薄膜上;再将表面贴有胶带的金属箔放入腐蚀液中腐蚀2‑10h,去除金属箔后得到胶带/石墨烯薄膜结构;将胶带/石墨烯薄膜结构捞起后放入装有去离子水的培养皿中重复漂洗3‑5次(每次10‑30min);再将胶带/石墨烯薄膜结构捞起,贴附在用10‑50W的等离子体清洗机进行亲水处理后的目标基底上,并在常温下自然放置3‑6h,得到胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构;最后将胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构表面的胶带缓慢的以平行方向撕掉即实现无损转移;该方法设计新颖,原理科学,过程简单,操作简易,转移效果较好。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 薄膜 无损 转移 方法 | ||
【主权项】:
一种石墨烯薄膜无损转移方法,其特征在于具体包括以下工艺步骤:(1)将生长有石墨烯薄膜的金属箔平放在载玻片上,将胶带紧贴在生长有石墨烯薄膜的金属箔表面上;(2)将上述表面贴有胶带的金属箔放入腐蚀液中腐蚀2‑10h,去除金属箔后得到胶带/石墨烯薄膜结构;(3)将胶带/石墨烯薄膜结构轻轻捞起后放入装有去离子水的培养皿中漂洗10‑30min,重复此漂洗过程3‑5次;用10‑50W的等离子体清洗机对目标基底表面进行3‑5min的亲水处理,然后轻轻将胶带/石墨烯薄膜结构捞起,贴附于目标基底被处理过的表面后常温下自然放置3‑6h,得到胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构;(4)将胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构表面的胶带缓慢的以平行方向撕掉,得到转移到目标基底上的石墨烯薄膜,实现石墨烯薄膜无损转移。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛华高能源科技有限公司,未经青岛华高能源科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510237214.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。