[发明专利]光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法有效
| 申请号： | 201510237227.2 | 申请日： | 2015-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN106324995B | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 李杰;唐锋;王向朝;吴飞斌;张国先;郭福东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 张泽纯,张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器并具有XYZ三维扫描能力和精确定位能力的工件台。利用该装置实时原位检测光刻机投影物镜的波像差，提高了波像差检测速度和空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 原位 快速 空间 分辨率 波像差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置，其特征在于，该装置包括用于产生激光光束的光源(1)、照明系统(2)、物面光栅板(3)、能承载物面光栅板(3)并拥有精确定位能力的掩模台(4)、光刻机投影物镜(5)、波像差传感器(6)、能承载波像差传感器(6)并具有XYZ三维扫描能力和精确定位能力的工件台(7)和计算机(8)；沿光束传播方向依次是所述的照明系统(2)、物面光栅板(3)、光刻机投影物镜(5)和波像差传感器(6)；所述的物面光栅板(3)置于掩模台(4)上，所述的波像差传感器(6)置于工件台(7)上，所述的波像差传感器(6)与计算机(8)相连；所述的物面光栅板(3)由两个周期为Po且占空比为50％的物面光栅组成，两个物面光栅分别是光栅线沿y方向的第一光栅(301)和光栅线沿x方向的第二光栅(302)；所述的波像差传感器(6)包括沿光束传播方向依次放置的像面光栅(601)、小孔阵列(602)和二维光电传感器(603)；所述的小孔阵列(602)的周期等于光电二维传感器(603)的像素周期，小孔位置与光电二维传感器的像素位置一一对应，小孔直径为光电二维传感器(603)像素大小的1/N，N为采样频率；所述的第一光栅(301)和第二光栅(302)的周期Po与所述的像面光栅(601)的周期Pi满足如下关系；Po＝Pi·M其中，M为光刻机投影物镜的成像放大倍数。
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