[发明专利]一种MOM电容器及电容调整方法

摘要

本发明涉及电容器领域，尤其涉及一种MOM电容器及电容调整方法，在每层金属层的第一电极和第二电极连接一电压开关装置，通过控制电压开关装置施加到每层金属层的第一电极和第二电极上的电压的正负极性，改变连接在所述第一电极一侧的第一电极叉指和连接在所述第二电极一侧的第二电极叉指的正负极性，以实现行方向上各电极叉指的正负极性交替间隔排列，列方向上各电极叉指的正负极性混合排列，来精细调整MOM电容器的电容。该方法节省电容调整成本，能够实现调整后MOM电容器的电容值与目标值相差小于5％，以使得模拟电路更加精准。

主权项

一种MOM电容器，其特征在于，包括：多层相互平行叠置的金属层，且每层所述金属层中均包括第一电极、分别与该第一电极连接的若干第一电极叉指、第二电极以及分别与该第二电极连接的若干第二电极叉指；绝缘介质层，所述金属层均嵌入设置于该绝缘介质层中，以将各所述金属层之间、位于同一所述金属层中的第一电极与第二电极之间均予以隔离；电压开关装置，分别与每层金属层中的所述第一电极和所述第二电极连接；其中，利用所述电压开关装置调整每个所述第一电极和每个所述第二电极的正负极性，以调整所述电容器的电容值；每层所述金属层中，所述第一电极叉指的极性与第一电极一致，所述第二电极叉指的极性与第二电极一致；每层所述金属层中，所述第一电极叉指与所述第二电极叉指交替间隔排列；每层所述金属层中，所述第一电极和第二电极的正负极性相反；调整不同金属层之间的所述第一电极和所述第二电极的电压的正负极性，使得垂直方向上的所述第一电极叉指和所述第二电极叉指的正负极性混合分布。