[发明专利]一种降低激光热效应的玻璃通孔制作方法有效
| 申请号： | 201510237903.6 | 申请日： | 2015-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN104923925B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 刘丰满;林来存;邱德龙;褚衍彪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/70;B23K26/14;B23K26/402 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种降低激光热效应的玻璃通孔制作方法，包括以下步骤在玻璃衬底待形成通孔位置处制作一定厚度的金属垫(pad)；通过激光将所述待形成通孔位置处的金属垫(pad)和玻璃衬底均烧蚀去除；以及形成所述玻璃通孔后，将所述金属垫清洗去除。本发明的玻璃通孔制作方法通过廉价的激光器，例如C02激光器即可以实现快速有效制作玻璃通孔，减少产生的玻璃熔渣、裂纹、崩边等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 激光 热效应 玻璃 制作方法 | ||
【主权项】：
一种降低激光热效应的玻璃通孔制作方法，包括以下步骤：在玻璃衬底待形成通孔位置处制作金属垫；其中所述金属垫的厚度在几十纳米至十几微米的数量级；通过激光将所述待形成通孔位置处的金属垫和玻璃衬底均烧蚀去除；以及形成所述玻璃通孔后，将所述金属垫清洗去除。
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