[发明专利]一种光波导制造方法及光波导在审
| 申请号： | 201510239021.3 | 申请日： | 2015-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN106291814A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;曾福林;王志坚;孙海龙;冯泽明;王根成 | 申请（专利权）人： | 中兴通讯股份有限公司;浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/134 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,黄灿 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光波导的制造方法以及光波导，该方法包括以下步骤：提供一玻璃基片；在所述玻璃基片上，波导芯部两侧的区域形成含一种阳离子的熔盐扩散区；在形成含一种阳离子的熔盐扩散区的所述玻璃基片上，波导芯部的区域形成离子掺杂区；在形成离子掺杂区的所述玻璃基片上，所述离子掺杂区的表面形成去掺杂区。本发明提供的光波导的制造方法，使光波导模场分布的对称性得到改善，降低了耦合损耗与传输损耗；通过离子反交换技术形成去掺杂区，保证所形成的光波导为掩埋式光波导，降低了光波导的耦合损耗以及由于玻璃基片表面缺陷处的散射引入的传输损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光波导的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一玻璃基片；在所述玻璃基片上，波导芯部两侧的区域形成含一种阳离子的熔盐扩散区；在形成含一种阳离子的熔盐扩散区的所述玻璃基片上，波导芯部的区域形成离子掺杂区；在形成离子掺杂区的所述玻璃基片上，所述离子掺杂区的表面形成去掺杂区。
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