[发明专利]多次反射式激光共焦长焦距测量方法与装置有效
| 申请号： | 201510240568.5 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN105181298B | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;李志刚;王允 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙)11639 | 代理人： | 王民盛 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种多次反射式激光共焦长焦距测量方法与装置。该方法通过在被测镜后引入平行平晶和反射镜对聚焦光束进行多次反射，利用激光共焦光强响应曲线最大值点与会聚点精确对应这一特性，对多次折返后不同反射次数的会聚点进行高精度定焦，再由测长干涉仪精确测得反射镜位置信息，继而实现长焦距高精度测量。本发明提出的共焦定焦原理与多次反射式折返原理相结合的方法，极大程度压缩了测量光路，大幅缩短了测量距离，简化了测量光路，从而减少了仪器结构，抗高了抗环境干扰能力，可用于长焦距透镜或光学系统焦距的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 多次 反射 激光 共焦长 焦距 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
多次反射式激光共焦长焦距测量装置，其特征在于：包括点光源(1)、分光镜(2)、准直镜(3)、环形光瞳(4)、被测镜(5)、平行平晶(6)、反射镜(9)和共焦探测系统(10)、其中共焦探测系统(10)包括针孔(11)和光强探测器(12)，其测量光路为：打开点光源(1)，由点光源(1)出射的光经分光镜(2)和准直镜(3)后形成准直光束并照射在被测镜(5)上；准直光束透过被测镜(5)和平行平晶(6)后会聚成测量光束(13)，该测量光束(13)在平行平晶(6)的右表面(7)和反射镜(9)的反射面(8)之间折叠反射；沿光轴移动反射镜(9)，当测量光束(13)会聚点位于平行平晶右表面(7)或者反射镜的反射面(8)附近时，平行平晶右表面(7)或者反射镜的反射面(8)将测量光束(13)反射，反射回来的光束再反向透过平行平晶(6)和被测镜(5)被分光镜(2)反射进入共焦探测系统(10)，共焦探测系统(10)将轴向光强信息经处理后得到共焦光强响应曲线，其最大值点位置精确对应测量光束(13)会聚点位置。
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