[发明专利]带有自动清洗功能的涂胶机及涂胶机的自动清洗方法有效
| 申请号： | 201510242142.3 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106180096B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 王晖;陈福平;王文军;杨宏超;V·纳其;陈福发;王坚;张晓燕;仰庶 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B05C11/11 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种带有自动清洗功能的涂胶机以及一种涂胶机的自动清洗方法。在一个实施例中，涂胶机包括能够充满清洗液的涂胶腔室，固持基板的基板卡盘，及至少一个护罩，该护罩能够向上移动以防止光刻胶飞溅出涂胶腔室，或者向下移动并浸没在清洗液中以进行清洗。一种涂胶机的自动清洗方法，包括以下步骤：关闭涂胶机的出液阀；使涂胶腔室充满清洗液；待涂胶腔室内的光刻胶溶解于清洗液之后，打开涂胶机的出液阀并将清洗液排出涂胶腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 自动 清洗 功能 涂胶 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带有自动清洗功能的涂胶机，其特征在于，包括：/n涂胶腔室，该涂胶腔室能够充满清洗液；/n基板卡盘，该基板卡盘固持基板；/n至少一个护罩，当涂敷光刻胶时，该护罩能够向上移动以防止光刻胶飞溅出涂胶腔室，当清洗涂胶机，该护罩向下移动并浸没在清洗液中以进行清洗；/n其中，所述涂胶机还包括进液管道，所述进液管道与涂胶腔室连接以向涂胶腔室供应清洗液，所述进液管道上设置有进液阀，所述涂胶机还包括出液管道，所述出液管道与涂胶腔室连接以将清洗液排出涂胶腔室，所述出液管道上设置有出液阀。/n
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