[发明专利]MEMS双层悬浮微结构的制作方法和MEMS红外探测器有效
| 申请号： | 201510244071.0 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106276776B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 荆二荣 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;G01J5/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种MEMS双层悬浮微结构的制作方法，可以制作出具有双层的悬浮微结构，用该双层悬浮微结构(具备第一膜体和第二膜体的悬浮微结构)制作的红外探测器，由于第二膜体不需要制作悬臂梁，所以第二膜体可以制作得比第一膜体大，因而可以比单层悬浮微结构的红外探测器拥有更大的悬浮吸收区域，从而具备较高的红外响应率。此外，还公开一种MEMS红外探测器。 | ||
| 搜索关键词： | mems 双层 悬浮 微结构 制作方法 红外探测器 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS双层悬浮微结构的制作方法，其特征在于，包括步骤：提供基片；在基片上形成第一介质层；将所述第一介质层图形化以制作第一膜体和连接所述基片和所述第一膜体的悬臂梁；其中，所述悬臂梁为两条，分别位于所述第一膜体的两侧；在所述第一介质层上形成牺牲层；将位于所述第一膜体上的牺牲层图形化以制作出用于形成支撑结构的凹部，所述凹部的底部暴露出所述第一膜体；在所述牺牲层上形成第二介质层；将所述第二介质层图形化以制作出第二膜体和所述支撑结构，所述支撑结构连接所述第一膜体和所述第二膜体；其中，在所述牺牲层的凹部上淀积并图形化的介质层作为所述支撑结构，连接所述支撑结构四周的区域形成所述第二膜体；去除所述第一膜体下的部分基片，去除所述牺牲层，得到MEMS双层悬浮微结构；其中，所述第二膜体在水平方向上的投影面积比所述第一膜体在水平方向上的投影面积大；所述第一膜体和第二膜体用来作为吸收红外的膜状吸收层，将吸收的红外能量转换为电信号通过所述悬臂梁传到所述基片的电路结构。
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