[发明专利]石英振荡式膜厚计有效
| 申请号： | 201510244172.8 | 申请日： | 2015-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN105091804B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 田岛三之;田村博之 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种优异的石英振荡式膜厚计，通过设定预先形成在石英振子(4)的蒸镀面侧的电极膜(5)上的基底膜，来抑制石英振子的等效串联电阻的上升，实现了长寿命化。石英振荡式膜厚计(M)用于进行真空蒸镀装置(D)中的膜厚控制，所述真空蒸镀装置(D)在真空槽(1)内使从蒸发源(2)蒸发出的蒸镀材料沉积在基板(3)表面而形成薄膜，该石英振荡式膜厚计以如下方式构成：预先通过蒸镀将由与所述蒸镀材料不同的且包含至少一个以上碳原子的有机物构成的有机材料覆盖到石英振子(4)的蒸镀面侧的电极膜(5)上而形成有机材料基底膜(6)，使所述蒸镀材料蒸镀到该有机材料基底膜(6)上，来计测该蒸镀材料的膜厚或者蒸镀速度。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 振荡 式膜厚计 | ||
【主权项】：
1.一种石英振荡式膜厚计，该石英振荡式膜厚计用于进行真空蒸镀装置中的膜厚控制，所述真空蒸镀装置在真空槽内使从蒸发源蒸发出的蒸镀材料沉积在基板表面而形成薄膜，所述石英振荡式膜厚计的特征在于，该石英振荡式膜厚计以如下方式构成：预先通过蒸镀将由与所述蒸镀材料不同的且包含至少一个碳原子的有机物构成的有机材料覆盖到石英振子的蒸镀面侧的电极膜上而形成有机材料基底膜，使所述蒸镀材料蒸镀到该有机材料基底膜上，来计测该蒸镀材料的膜厚或者蒸镀速度。
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