[发明专利]一种电流辅助的掺铝氧化锌薄膜化学制绒方法

摘要

本发明公开了一种电流辅助的掺铝氧化锌薄膜化学制绒方法，该方法通过在掺铝氧化锌薄膜传统化学制绒的同时加以辅助电流，大大提高了掺铝氧化锌薄膜绒面的粗糙度，增强了掺铝氧化锌薄膜的光散射特性，适合于薄膜太阳能电池的制作，可以提高太阳能电池的陷光能力及光电转换效率。本发明制作方法简单易行，适于大面积生产。

主权项

一种电流辅助的掺铝氧化锌薄膜化学制绒方法，其特征在于它由下述步骤组成：(1)采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积掺铝氧化锌薄膜；(2)在沉积的掺铝氧化锌薄膜两端固定电极，将掺铝氧化锌薄膜的中间部分浸入乙酸铵水溶液中，在电极两端加100～150mA电流进行制绒，制绒时间为10分钟，得到绒面掺铝氧化锌薄膜。