[发明专利]具有高灵敏度和高精确度的压力传感器器件

摘要

本发明涉及一种具有高灵敏度和高精确度的压力传感器器件。具体地，通过增加该传感器的灵敏度，增加从低压MEMS传感器输出的电压。通过使具有转角沟槽的低压传感器器件的膜板变薄，增加灵敏度。通过同时创建交叉加强件到膜板的底侧，降低通过使膜板变薄而增加的非线性。还可以添加缘边、锚固件和加强件衬垫，以进一步加固较薄的膜板并进一步降低压力非线性。

主权项

1.一种压力传感元件，包括：第一基体，其具有相对的顶侧和底侧；外延层，其形成在第一基体的顶侧上，所述第一基体包括硅；膜板，其形成到所述第一基体的底部中，所述膜板具有相对的顶侧和底侧，所述膜板的所述顶侧包括彼此耦接以形成惠斯通电桥的间隔开的压电电阻器；缘边，所述缘边形成为所述膜板的所述底部的一部分并且其支撑和加固所述膜板的所述底部的周边区域；交叉加强件，其在所述膜板的所述底侧上形成为所述膜板的一部分，其中，所述缘边和所述交叉加强件改进了膜板的精确度，交叉加强件包括形成为所述膜板的所述底部的一部分的第一和第二基本正交梁段，每个梁段具有第一和第二相对端部；和锚固件，其具有防止泄漏电流通过P‑N接合点穿过外延层中的厚度，该锚固件形成为所述膜板的所述底部的一部分并位于所述缘边和梁段的端部之间。