[发明专利]一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪有效
| 申请号： | 201510247649.8 | 申请日： | 2015-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN106289210B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 杨波;胡迪;戴波;王行军 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 210018 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪，由上层聚合物毛发、中层硅微传感器和设有电路的底层玻璃衬底组成，所述中层硅微传感器包括圆形质量块以及与圆形质量块同圆心的环形质量块，所述圆形质量块和环形质量块之间设置有两个扭力梁，所述上层聚合物毛发粘合在圆形质量块中心，所述环形质量块的圆周侧部均匀的设置有若干梳齿组和方波支撑梁，所述梳齿组和方波支撑梁相互交错排列。本发明结构新颖，拥有较强的灵敏度，与现有的平面工艺兼容，其上层聚合物毛发的设置相比于以往单纯的平面结构，能够有效放大哥氏力效应，提高结构的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 角速度 敏感 仿生 毛发 式硅微 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪，由上层聚合物毛发(1)、中层硅微传感器和设有电路的底层玻璃衬底组成，其特征在于：所述中层硅微传感器包括圆形质量块(2)以及与圆形质量块(2)同圆心的环形质量块(3)，所述圆形质量块(2)和环形质量块(3)之间设置有两个扭力梁(4)，所述上层聚合物毛发(1)粘合在圆形质量块(2)中心，所述环形质量块(3)的圆周侧部均匀的设置有若干梳齿组(5)和方波支撑梁(6)，所述梳齿组(5)和方波支撑梁(6)相互交错排列；所述梳齿组(5)中梳齿的方向平行于环形质量块(3)的切线方向；所述圆形质量块(2)在底层玻璃衬底上的投影区域内以扭力梁(4)的轴线方向为切割方向设有第一半圆形金属电极(809b)和第二半圆形金属电极(809c)。
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