[发明专利]一种复合金属电极太阳能电池的制备方法有效
申请号: | 201510247765.X | 申请日: | 2015-05-15 |
公开(公告)号: | CN104966759B | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 石强;秦崇德;方结彬;黄玉平;何达能;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人: | 胡枫 |
地址: | 528100 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种复合金属电极太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤(1)制绒;(2)扩散;(3)去磷硅玻璃;(4)在硅片正面形成减反膜;(5)通过丝网印刷在硅片背面制备背电极和Al背电场;(6)通过丝网印刷Ag浆料在硅片正面形成Ag电极;(7)高温烧结;(8)将第一掩膜覆盖在硅片正面使除Ag电极以外的区域实行遮盖;(9)采用磁控溅射Cu靶材的方法在Ag电极上沉积Cu电极;(10)将第二掩膜覆盖在硅片正面使除Cu电极以外的区域实行遮盖;(11)采用磁控溅射Sn靶材的方法在Cu电极上沉积Sn电极,最终得到复合正电极的太阳能电池。采用本发明,可使电极的致密性提高和电阻值降低,从而提高电池的转换效率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合 金属电极 太阳能电池 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种复合金属电极太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)利用湿法或干法制绒,在硅片表面形成绒面;(2)硅片在扩散炉中扩散,形成p‑n结;(3)去除热扩散在硅片表面形成的磷硅玻璃;(4)在硅片正面形成减反膜;(5)通过丝网印刷在硅片背面制备背电极和Al背电场;(6)通过丝网印刷Ag浆料在硅片正面形成Ag电极;(7)高温烧结;(8)将第一掩膜覆盖在硅片正面使除Ag电极以外的区域实行遮盖;(9)采用磁控溅射Cu靶材的方法在Ag电极上沉积Cu电极;(10)将第二掩膜覆盖在硅片正面使除Cu电极以外的区域实行遮盖;(11)采用磁控溅射Sn靶材的方法在Cu电极上沉积Sn电极,最终得到复合正电极的太阳能电池。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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