[发明专利]一种除尘方法在审
| 申请号： | 201510252566.8 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106166554A | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李仁智;林钦茂;赖颖辉;吴声桢;陈政仁;余书侨 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;赵根喜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种除尘方法，包括如下步骤：于伪基板上设置一黏着层；将设置有所述黏着层的所述伪基板送入工作腔室进行一除尘操作；当检测到所述工作腔室中杂质达到一预定标准时，停止所述除尘操作进行后续操作。本发明向工作腔室中传输表面设置有黏着层的伪基板，提高了伪基板收集工作腔室内杂质的效率，如此大幅降低了进行各工艺操作之前所需的除尘时间，提高了工作效率，并且仅需向工作腔室中传输少量的伪基板就可以使其中的杂质浓度达到工作标准，有效降低了伪基板的使用量，降低了制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 除尘 方法 | ||
【主权项】：
一种除尘方法，其特征在于，包括如下步骤：于伪基板上设置一黏着层；将设置有所述黏着层的所述伪基板送入工作腔室进行一除尘操作；当检测到所述工作腔室中杂质达到一预定标准时，停止所述除尘操作进行后续操作。
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