[发明专利]一种金属刻蚀方法及干法刻蚀机台在审
| 申请号： | 201510253980.0 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106283063A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 陈定平 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属刻蚀方法及干法刻蚀机台，主要包括将进行金属湿法刻蚀后的金属元件放入干法刻蚀机台腔体内，向所述干法刻蚀机台腔体内至少充入氟化物气体；将所述氟化物气体电离，形成含氟等离子气体；所述含氟等离子气体与所述元件表面的硅渣在设定压力和设定时间内进行反应后，抽取所述干法刻蚀机台腔体内的气体；在所述干法刻蚀机台腔体内对所述元件进行金属干法刻蚀。采用上述方法，可以解决了金属表面存在点状残留物的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 刻蚀 方法 机台 | ||
【主权项】：
一种金属刻蚀方法，其特征在于，包括：将进行金属湿法刻蚀后的元件放入干法刻蚀机台腔体内，向所述干法刻蚀机台腔体内至少充入氟化物气体；将所述氟化物气体电离，形成含氟等离子气体；所述含氟等离子气体与所述元件表面的硅渣在设定压力和设定时间内进行反应后，抽取所述干法刻蚀机台腔体内的气体；在所述干法刻蚀机台腔体内对所述元件进行金属干法刻蚀。
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