[发明专利]一种新型抽气管路在审
| 申请号： | 201510254605.8 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106287084A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 郑佳彤 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | F16L43/00 | 分类号： | F16L43/00;F16L23/028;F16L41/02 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)21229 | 代理人： | 李绪岩 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种新型抽气管路，包括管体，凸台和可旋转法兰盘组成。凸台设置在管体的两端与管体为一体结构，可旋转法兰盘设置在凸台的外圈。本发明在保证功能的前提下，减小了加工的难度，也更利于跟PECVD腔体进行装配。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 管路 | ||
【主权项】：
一种新型抽气管路，其特征在于:包括管体，凸台和可旋转法兰盘组成；凸台设置在管体的两端与管体为一体结构，可旋转法兰盘设置在凸台的外圈。
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