[发明专利]光固化图案的形成方法有效
| 申请号： | 201510257148.8 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105093846B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 崔和燮;白基範;朴根永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及光固化图案的形成方法。本发明涉及光固化图案的形成方法，在基板的至少一面涂布感光性树脂组合物，用复合波长的光曝光的光固化图案的形成方法中，通过进行上述曝光以使上述光中j线(300nm以上340nm以下)的波长的光的光量积分值相对于i线(超过340nm且380nm以下)的波长的光量积分值，成为5～20％，上述感光性树脂组合物包含吸收波长为325～340nm的光聚合引发剂，从而提高图案的密合力，能够形成微细图案，由此能够实现高析像清晰度。 | ||
| 搜索关键词： | 光固化 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
光固化图案的形成方法，是在基板的至少一面涂布感光性树脂组合物，用复合波长的光进行曝光而形成光固化图案的方法，其中，进行上述曝光以使上述光中j线中300nm以上340nm以下的波长的光的光量积分值相对于i线中超过340nm且380nm以下的波长的光量积分值，成为5～20％，上述感光性树脂组合物包含吸收波长为325～340nm的光聚合引发剂。
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