[发明专利]一种扫描电镜探针电流检测装置和一种扫描电镜

摘要

本发明提供一种扫描电镜探针电流检测装置和一种扫描电镜，其中的扫描单元在正扫阶段时，偏转单元控制其中的电子束不发生偏转，检测电路不进行电子束的采样操作，此时电子束正常通过镜筒，打到样品表面，实现对样品的成像。扫描单元在回扫阶段时，偏转单元控制其中的电子束发生偏转，检测电路进行电子束的采样操作，由此得到探针电流的数值。这一过程完全不需要移动样品台进行。由于回扫阶段电子束不参与成像，所以利用回扫阶段进行探针电流检测不会中断扫描电镜的图像采集，在电镜图像采集的同时实时检测探针电流的变化，高效地完成进行探针电流检测。同时由于探针电流检测不需要移动样品台进行，因此对样品台的精度要求可以有所降低。

主权项

一种扫描电镜，其特征在于，包括扫描电镜探针电流检测装置，以及电子束发生器和扫描单元；所述电子束发生器用于产生并射出电子束；所述扫描单元用于控制进入其内的电子束发生偏转，对样品台上的样品进行二维扫描；所述扫描电镜探针电流检测装置设置于扫描电镜的镜筒内，包括，主控制器，偏转单元、法拉第杯和检测电路，其中：所述偏转单元，设置于电子束发生器和扫描单元之间，接收电子束发生器射出的电子束，控制电子束是否发生偏转；所述法拉第杯，设置于所述偏转单元输出的电子束的偏转方向上，收集偏转的电子束；所述检测电路，用于对所述法拉第杯中收集的电子束进行检测；所述主控制器，用于控制所述偏转单元、所述法拉第杯和所述扫描单元的工作状态，以实现：所述扫描单元在正扫阶段时，所述偏转单元控制其中的电子束不发生偏转；所述扫描单元在回扫阶段时，所述偏转单元控制其中的电子束发生偏转；所述扫描单元从回扫阶段转换为正扫阶段的时间节点与所述偏转单元控制其中的电子束从发生偏转转换为不发生偏转的时间节点之间具有时间差。