[发明专利]具有解耦驱动系统的MEMS传感器有效
| 申请号： | 201510258053.8 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105091875B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 奥赞·阿纳奇;约瑟夫·西格 | 申请（专利权）人： | 应美盛公司 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733;G01C19/574;G01C19/5712 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;郑霞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有解耦驱动系统的MEMS传感器。在第一方面，角速率传感器包括基板和锚定到该基板的旋转结构。该角速率传感器还包括锚定到该基板的驱动质量和耦合该驱动质量和该旋转结构的元件。该角速率传感器还包括致动器，该致动器用于驱动该驱动质量进入沿着与该基板共面的第一轴的振动并且用于驱动该旋转结构进入围绕与该基板垂直的第二轴的旋转振动；第一换能器，用于在感测模式中响应于科里奥利力感测该旋转结构的运动；以及第二换能器，用于在驱动模式期间感测该传感器的运动。在第二方面，该角速率传感器包括基板和与该基板平行并且通过柔性元件锚定到该基板的两个剪切质量。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 驱动 系统 mems 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种角速率传感器，包括；一个基板；耦合到该基板的第一剪切质量和第二剪切质量，该第一剪切质量和第二剪切质量彼此柔性地耦合；一个耦合到该基板的旋转结构；一个耦合到该基板的驱动质量；一个耦合该驱动质量和该旋转结构的柔性元件；一个通过该驱动质量耦合到该旋转结构的致动器，该致动器用于驱动该旋转结构进入围绕与该基板垂直的一条第一轴的旋转振动，该致动器在一个第一方向中驱动该驱动质量在平行于该基板的方向上移动，并且在一个第二方向中反相位驱动该第一剪切质量和该第二剪切质量；一个在一种驱动模式期间响应于该旋转结构的该旋转振动的第一换能器；以及一个响应于该角速率传感器的角速度的第二换能器。
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