[发明专利]一种具有高分辨率和优异掩孔性能的感光干膜有效
| 申请号： | 201510259700.7 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN104834182B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李伟杰;李志强;严晓慧;黄森彪;周光大;林建华 | 申请（专利权）人： | 杭州福斯特应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 311300 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感光干膜，由聚酯支撑层、光敏性树脂组合物层和聚乙烯保护层依次粘结而成。光敏性树脂组合物层作为干膜的核心层，包括50‑70重量份的碱溶性树脂、25‑45重量份的可进行光自由基聚合反应的单体、0.1‑5重量份的光引发剂；其中，碱溶性树脂数均分子量为80000‑140000，具有分子量分布窄（PDI≤1.5）的特点，包含上述碱溶性树脂的光敏性树脂组合物具有高分辨率和优异的掩孔性能，在PCB生产中有效地降低了破孔概率，有助于增加PCB生产的良率，提高PCB生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高分辨率 优异 性能 感光 | ||
【主权项】：
1.一种具有高分辨率和优异掩孔性能的感光干膜，由聚酯支撑层、光敏性树脂组合物层和聚乙烯保护层依次粘结而成；其特征在于，所述光敏性树脂组合物层包括50‑70重量份的碱溶性树脂、25‑45重量份的可进行光自由基聚合反应的单体、0.1‑5重量份的光引发剂；所述碱溶性树脂通过可逆加成‑断裂链转移聚合得到，具有以下通式：(A)x(B)y(C)z；其中，A为甲基丙烯酸甲酯，B为丙烯酸，C为丙烯酸乙酯，x、y、z分别表示A、B、C在碱溶性树脂中的重量比；其中， x为40‑60；y为18‑23；z为20‑30；碱溶性树脂数均分子量为80000‑140000，多分散性指数为1.2‑1.5，玻璃化转变温度为110‑140 oC。
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